山西微流控芯片之SAW器件 创新服务 深圳市勃望初芯半导体科技供应

微流控芯片的硅质材料加工工艺：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和湿法刻蚀(wetetching)技术是2种常规工艺。由于硅材料具有良好的光洁度和很成熟的加工工艺，主要用于加工微泵、微阀等液流驱动和控制器件，或者在热压法和模塑法中作为高分子聚合物材料加工的阳模。光刻是用光胶、掩模和紫外光进行微制造。光刻和湿法蚀刻技术通常由薄膜沉淀、光刻、刻蚀3个工序组成。在薄膜表面用甩胶机均匀地附上一层光胶。然后将掩模上的图像转移到光胶层上，此步骤首先在基片上覆盖一层薄膜，为光刻。再将光刻上的图像，转移到薄膜，并在基片上加工一定深度的微结构，此步骤完成了蚀刻。表面亲疏水涂层调控接触角，优化微流道内流体传输与反应效率。山西微流控芯片之SAW器件

利用微流控芯片做infection疾病抗原和抗体检测：由病原体引起的infection疾病是一个严重的全球公共卫生问题，部分infection疾病具有高传染性，因此理想的检测应该具有即时性，使得患者在检测现场得以确诊并接受cure，防止传染病大规模传播和暴发。目前一些微流控芯片已经被成功地用于识别病原体分子标志物和infection诊断。Pham等利用金属纳米粒子的信号放大作用，开发一款高敏感性快速检测疟疾抗原的微流控芯片，其敏感性接近临床常规检测方式。利用微流控芯片高通量性质等，设计的微流控芯片可对多种病毒同时检测，节省传染性疾病初始筛查时间并降低成本，此芯片还通过检测每种病毒的多种抗原来提高检测敏感性和特异性。吉林微流控芯片技术指导热压印工艺实现硬质塑料微结构快速成型，降低小批量生产周期与成本。

微流控芯片小批量生产的成本优化策略：针对研发阶段与中小批量订单需求，公司构建了“快速原型-工艺优化-小批量试产”的全流程成本控制体系。在快速原型阶段，采用3D打印硅模（成本较传统光刻降低60%）与手工键合，7个工作日内交付首版样品；工艺优化阶段通过DOE（实验设计）筛选比较好加工参数，将材料利用率提升至90%以上；小批量生产（100-10,000片）时，利用共享模具与标准化封装流程，较传统批量工艺降低40%的单芯片成本。例如，某科研团队定制的500片细胞分选芯片，通过该策略将单价控制在大规模量产的70%，同时保持±1%的流道尺寸精度。公司还提供阶梯式定价与工艺路线建议，帮助客户在保证性能的前提下实现成本比较好化，尤其适合初创企业与高校科研项目的器件开发需求。

美国圣母大学(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士与微生物学家和免疫检测professor合作研究，提高了微流控分析设备检测细胞和生物分子的速度和灵敏性。同时，Chang对交流电动电学进行了改善，因为他认为交流电（AC）可作为选择平台，驱动流体通过用于医学和研究的微流控分析仪。微流控分析仪的驱动机制是常规的直流电动电学，但是使用时容易产生气泡并引起物质在电极发生化学反应的缺点限制了直流电的应用，此外，为保证其对流量的精确控制，直流电极必须放置在储液池中，不能直接连接在电路中。利用微流控芯片对cancer标志物检测。

Lee等人先前解释说，与2D模型相比，微流控3D技术中肾单位的药效学和病理生理学反应更为实用。KoC已被开发并证明可显示出更好的药物肾毒性体内后果，该系统已被进一步用于确定各种药物诱导的生物反应。此外，它还有助于培养近端小管，用于观察预测药物诱导的肾损伤（DIKI）和药物相互作用的生物标志物。肾脏器官芯片模型的简单设计基本上由两层组成。上层包含近端小管上皮细胞，下层包含内皮细胞。如图1D所示，位于中间的多孔膜将两层分开。干湿结合刻蚀技术制备纳米级微针，可用于组织液提取与电化学检测器件。天津微流控技术和微流控芯片

基于MEMS发展而来的微流控芯片技术。山西微流控芯片之SAW器件

数十微米级微流控芯片的多样化结构设计与制造：针对10-100μm尺度的微流控芯片需求，公司提供包括蛇形流道、梯度混合腔、阀门阵列等多样化结构的定制加工。显微镜下可见的复杂三维结构，通过光刻胶模塑、热压成型及激光切割等工艺实现，适用于细胞培养、酶联免疫反应（ELISA）及微化学反应等场景。以数字PCR芯片为例，50μm直径的微腔阵列可将反应体系分割成数万**单元，结合荧光检测实现核酸分子的定量，检测通量较传统方法提升50%。公司在该尺度加工中注重流道流体动力学优化，通过计算流体力学（CFD）模拟流道阻力与混合效率，确保芯片内试剂传输的均匀性与反应可控性。同时，针对硬质塑料与PDMS材料特性，开发了高精度对准键合技术，解决了多材料复合芯片的密封与集成难题，广泛应用于体外诊断试剂盒与便携式检测设备。山西微流控芯片之SAW器件